91精品成人国产在线不卡_久久中精品中文字幕入口_99久久综合精品国产_91中文字幕亚洲国产资源

歡迎光聊城市熊貓體育鋼管有限公司官網(wǎng)!
鈑金加工設(shè)備源頭制造熊貓體育高新技術(shù)企業(yè) 歐盟標準 雙效合一
全國咨詢熱線:13371478899
當前位置: 首頁 > 新聞資訊

中微公司獲得一種托盤搬運裝置及氣相沉積系統(tǒng)的專利,有效防止顆粒污染并節(jié)省搬運時間\n金融界2024年6月7日報道,天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司獲得一項名為“一種托盤搬運裝置及氣相沉積系統(tǒng)”的專利,授權(quán)公告號為CN221092739U,申請日期為2023年11月。

時間:2024-07-04 01:50:11 作者:6kYzQ!yIEmp_M6UkZ 點擊:

根據(jù)專利摘要,本實用新型公開了一種托盤搬運裝置及氣相沉積系統(tǒng)。該托盤搬運裝置適用于移動半導(dǎo)體設(shè)備中載有基片的圓形托盤,包括以下組件:滑軌,其長度大于托盤徑向長度;至少兩個夾持機構(gòu),在滑軌上設(shè)置,每個夾持機構(gòu)包括固定連接的夾持部和移動部;移動部可沿滑軌進行往復(fù)移動,以便夾持或脫離托盤;止動裝置,設(shè)置于移動部上,以將夾持機構(gòu)鎖定在滑軌上;提吊機構(gòu),設(shè)置于滑軌上,以提起并搬運被夾持的托盤。該實用新型可避免搬運托盤時直接接觸其表面,有效防止晶圓上的顆粒污染。此外,在托盤溫度較高時,仍可完成搬運工作,節(jié)省了更換托盤和搬運時間。

阜新20#無縫鋼管價格 本文轉(zhuǎn)載自金融界